電子級多晶硅成就集成電路發展之路，助力“中國芯”迎來發展新征程

集成電路俗稱“芯片”，是信息發展的基礎內容，也是我國戰略發展的支持性產業，是現在所有電子產品(包括汽車、手機等)的核心組成部分，被廣泛應用到消費電子、汽車電子、5G網絡、計算機、數據物聯、云計算等多個領域，它是軟件產品的重要載體，也是信息產品硬件中重要基礎之一。

電子級多晶硅用于生產半導體材料，主要用于電子設備，芯片上用的比較多，作為集成電路產業發展中的主要材料，在電子信息領域有著非常廣泛的應用，隨著我國集成電路的發展，電子級多晶硅的需求量在不斷的提升，產品純度也已經達到目前人類技術水平的極限，對生產制造技術的要求極高。相對于光伏產業所用太陽能級多晶硅99.9999%純度，電子級多晶硅的純度要求高達99.999999999%，相當于5000噸的電子級多晶硅中總的雜質含量相當于一枚1元硬幣的重量。

但在過去相當長一段時間內，全球范圍內能夠生產電子級多晶硅產品的只是少數企業，且關鍵技術主要掌握在德國、日本和美國為首的企業手中。我國經過多年艱辛的努力，跨越多種技術關卡、長時間的試驗，逐漸成為全球首位多晶硅生產地，實現電子級多晶硅“中國造”，集成電路用高純電子級多晶硅國產化的突破，對我國集成電路產業的發展起到了至關重要的戰略意義，進一步推動了“中國芯”的發展進程，而在電子級多晶硅逐漸國產化的趨勢下，電子級多晶硅生產企業需要加強對產品品質的保障，提升工業效率、優化生產工藝來推動集成電路產業的持續發展。
 
對純度要求如此之高的電子級多晶硅，其在對生產環境的潔凈度要求也極為苛刻，我國多晶硅生產工藝中以改良西門子法工藝為主要技術形式，在還原爐內進行化學氣相沉積，因此，對還原爐的沉積環境潔凈度要求特別關鍵，任何顆粒性雜質、粉塵、油脂等物質余留在爐內，都會對產品質量造成影響，還原爐鐘罩污染物易造成內表面熱量反射減少，使生產能耗增加；所以需要在一個運行周期后對還原爐進行清洗。

面對電子級多晶硅高純度的需求，傳統人工清洗還原爐鐘罩的方式，因效率低、工作強度大、具備一定安全隱患的原因早已成為時代的眼淚，德高潔自主研發并投入使用了一款自動化多晶硅還原爐鐘罩清洗系統，并經歷多次不斷升級，已基本滿足不同多晶硅企業對還原爐的清洗需求，且經過實際投入使用中證明，經德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統清洗后，多晶硅還原爐鐘罩表面呈現“無油、無水、無塵”狀態，多晶硅純度有著明顯的提升。目前德高潔已為全國90%的多晶硅行業提供多達幾十套自動化多晶硅還原爐清洗系統。

德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩自動化清洗系統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統、循環過濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等，系統實現了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。
 
以水力自驅動三維自動旋轉噴頭，形成360°的網狀噴射表面，完成鐘罩內部表面的水力掃射，用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，用高純水沖洗，完成清洗過程。其后用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣，梯級加熱，保證烘干完的鐘罩不再結露，可直接進入生產作業。

采用全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作人員的污染；系統核心部件、元件及附件均選用德高潔合作多年的歐美廠商，確保系統設備的可靠性；可根據使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計，以滿足不同多晶硅生產企業的清洗需求，是一套安全、高效、環保、自動化程度高的電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗解決方案。
 
電子級多晶硅是電子工業生產中的重要內容，企業要想持續、穩定的生產高純電子級多晶硅，滿足下游企業對電子級多晶硅材料的質量需求，需要從多晶硅生產全流程各個工序嚴格控制，將各種可能造成多晶硅質量問題因素降到最小值，這其中避免不了對還原爐鐘罩的清洗，并在操作過程中進一步做到精益操作和精細化操作，改變不良習慣，提升管理水平，才有可能在電子級多晶硅市場上占有一席之地。