德高潔：大型多晶硅還原爐鐘罩內部“去人化環保化”清洗設備

多晶硅是微電子行業、半導體行業、光伏行業的基礎材料，在多晶硅生產過程中，還原爐鐘罩表面上會沉積一定厚度的多晶硅副產物、硅粉等，在下一爐生產時會影響還原爐鐘罩的反射效率、產品質量，所以多晶硅棒生長完成并從還原爐內拆除完之后，需要對還原爐鐘罩內壁進行清洗烘干，保證其內部的干燥潔凈。

在國內多晶硅廠家生產初期，還原爐鐘罩清洗的主要方式是人工清洗，將還原爐鐘罩放到固定位置后，清洗人員配好清洗液，穿戴好全套的防護用品后，用高壓水槍噴射到內壁上對附著物依次進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不干凈的部位用酒精擦拭，再用高溫壓縮空氣進行烘干。

由于每一個生產周期結束后均需要對還原爐鐘罩進行清洗，為保證多晶硅產品的品質，對還原爐鐘罩內表面的潔凈要求十分苛刻，而對于大型還原爐鐘罩來說，采用人工清洗存在清洗不干凈、清洗的一致性也難以保證、浪費人力的缺陷，且人工配堿和噴洗不安全，稍有不慎堿液容易濺到身上造成傷害，如何減少人工參與，實現更安全、環保的清洗方式成為多晶硅還原爐鐘罩內部清洗的難題。

德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動化清洗系統，由高壓熱水清洗系統、熱風凈化烘干系統、控制系統等組成，系統操作簡單，自動化程度高，整個清洗工藝包含：還原爐鐘罩到位→預清洗→清洗劑(堿液)清洗→漂洗→高壓純水沖洗→凈化熱空氣干燥→常溫干燥→鐘罩吊走，全程僅需人工輔助作業，解決傳統人工清洗存在不安全，不環保，清洗效果差，自動化程度低，效率不高的缺陷。
 
系統采用密閉式高壓水射流清洗系統，清洗時三維清洗噴頭由高壓熱水動力裝置射出高壓水流作為驅動動力，對鐘罩表面形成360度網狀噴射表面，三維旋轉噴頭自由升降，因此可以全面的對鐘罩進行噴射清洗，清洗時用專用清洗劑等為主要清洗液，用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，最后用高純水沖洗完成清洗過程，能夠保證清洗的一致性和均勻性。

全密閉式清洗烘干方式使清洗安全可靠，不污染環境，保護人身健康不受危害，清洗后用經過三級凈化(10萬級)的純凈空氣，梯級加熱，保證烘干完的鐘罩不再結露，可直接進入生產作業，有效提高自動化程度和生產效率。

洗滌后的含酸或堿液廢水、廢渣，排放到需方指定處，由需方自行處理，配排污水(池、槽)溝；清洗和烘干產生的廢氣做室外排空排放。系統采用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干同時具有半自動或手動功能，可以在一套系統實現多種型號還原爐鐘罩的清洗烘干。
 
德高潔是一家專業清潔環保設備供應商，在環保除塵、高壓清洗機、凈化成套裝備、工業設備清潔領域已積累了近三十年的業內寶貴經驗，公司擁有20余人研發團隊，長期服務于國企、軍工、外資、上市公司等500強企業，針對多晶硅還原爐鐘罩的清洗，德高潔可根據使用方不同還原爐鐘罩、車間廠房的情況，能源條件不同，提供個性化設計，目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶硅行業提供了上百套還原爐清洗系統，并在北京、上海、深圳、成都、西安、武漢均設有分公司及辦事處，服務體系網絡健全，零配件充足。