改良西門子法多晶硅還原爐鐘罩自動化清洗系統

隨著信息化技術和太陽能光伏產業的迅速發展，多晶硅作為集成電路和太陽能光伏發電的基礎原材料，在國內外市場的需求量不斷增加，簡單來說，多晶硅可以用于制備單晶硅，其深加工產品廣泛用于半導體工業中，作為人工智能、自動控制、信息處理、光硅轉換等器件的基礎材料。同時，由于能源危機和環境保護的要求，全球正積極開發利用可再生能源，大陽能光伏發電作為可再生資源之一備受關注，突顯出著多晶硅在新能源中的重要性；由于多晶硅產品需求的多樣化，對多晶硅純度的要求也大不相同，目前多晶硅可以分為太陽能級多晶硅（光伏發電）、電子級多晶硅（半導體集成電路）、區熔級多晶硅（電子級多晶硅的更高端產品）。

改良西門子法被公認為是多晶硅提純可靠成熟的工藝技術，同時也已被國內外絕大多數廠商采用，多晶硅還原爐作為改良西門子法生產多晶硅的核心設備，決定了系統產能、能耗、環保指標以及可靠性、安全性的關鍵因素。還原爐在生產過程中，由于還原爐內反應溫度較高，每一輪沉積反應后，在還原爐鐘罩內壁粘附著一些雜質，根據多晶硅生產原理及實際生產情況分析，鐘罩表面主要污染物為無定形硅粉，其次為多晶硅顆粒物、氯硅烷水解物及部分粉塵雜質，這些雜質不僅影響多晶硅的品質，還使鐘罩內表面的熱量反射減少，增加電耗，因此，為保障還原爐鐘罩表面的潔凈度，必須對還原爐鐘罩進行清洗及烘干作業。
 
以往，行業內普遍采用的方法是通過人工加化學藥劑的方式對還原爐鐘罩進行清洗，清洗過程中，人工穿戴好防護服，手持高壓水槍噴射到內壁上對附著物依次進行純水清洗和清洗液清洗，對部分清洗不干凈的部位用酒精擦拭，然后用高溫壓縮空氣進行烘干。這種清洗方式，存在清洗效果不徹底、效率低下、浪費人力的缺陷。并且，還原鐘罩內會有各種有毒有害氣體溢出或殘留，給清理人員帶來健康和安全風險，清洗時，稍有不慎化學清洗機容易濺到身上造成傷害。

為解決傳統人工清洗方式帶來的諸多危害，德高潔自主研發并歷經四代改進升級還原爐鐘罩高壓水自動化清洗系統，系統由低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統、循環過濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等組成，能夠代替人工實現還原爐鐘罩的全自動清洗和烘干操作。解決還原爐鐘罩清理過程中存在的效率低、清理效果差、安全隱患等問題，實現自動化高效清理的效果。

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅動三維旋轉噴頭形成360°的網狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用脫鹽水預清洗再依次用溶液、脫鹽水漂洗，之后再采用高純水沖洗，從而完成清洗過程，清洗工藝完成后，采用經過純凈空氣(萬級)烘干加熱，達到工藝要求的干燥度。
 
德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，能實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能，一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。

全密閉式清洗烘干系統，有效防止清洗時高壓水射流噴射出鐘罩外，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，有效避免人員安全隱患及環境污染事故，系統核心部件均為原裝進口，采用歐洲標準，保證了多晶硅鐘罩清洗系統性能的可靠，可以在一套系統實現多種型號鐘罩的清洗烘干。

為了滿足多晶硅日益激增的市場需求，保障多晶硅生產質量，多晶硅企業除了在生產能力和技術上有所提升之外，對多晶硅生產設備的潔凈度也不可忽視，如何實現多晶硅還原爐鐘罩的高質量清洗，德高潔多晶硅還原爐鐘罩自動化系統一直“靠實力說話”，憑借專業團隊、可靠硬件設備、合理工藝、自動化技術等多方面結合，為用戶提供一套安全、環保、高效、高質量的多晶硅還原爐鐘罩自動化清洗解決方案。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶硅行業提供了幾十套還原爐清洗系統。