多晶硅正從光伏邁向電子級 還原爐清洗不可忽視

多晶硅，作為光伏與半導體行業的基礎命脈，其自身品質與成本狀況極大程度地決定了行業的發展水平。集成電路用的電子級硅材料幾乎是目前工業領域純度要求最高的產品，純度要求達到99.99999999999%，即11個9以上，而普通太陽能級多晶硅材料純度通常在5～8個9左右，國內多晶硅正由光伏邁向電子級。
 
國際咨詢機構IBS發布的數據顯示，從2014年起，中國集成電路市場規模在全球占比超過50%，預計到2020年超過60%。根據《國家集成電路產業發展推進綱要》明確提出的發展目標，2018年中國集成電路產業增長22.0%，產業規模達到6400億元。到2020年將全面達到全國集成電路發展“十三五”規劃的目標，產業銷售規模達到9300億元。

在多晶硅的生產過程中，一些物料和污物會粘附在內壁、視孔鏡、底部法蘭上，增加反應生成過程中的能耗，增加生產成本，更加影響多晶硅的質量，影響了多晶硅的純度。為了保證多晶硅還原爐表面的潔凈度，需要對還原爐清洗和烘干等工作。
 
德高潔公司憑借多年來對自動化清洗系統設計、制造的成熟經驗和能力，早在2009年就研發出多晶硅還原爐清洗系統，經過多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外經驗，德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，進一步研制出電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統。
 
德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，能實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。

全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作人員的污染。核心部件、元件和附件原裝進口保證了電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能的可靠，可以在一套系統實現多種型號鐘罩的清洗烘干。目前，德高潔在多晶硅還原爐清洗行業已擁有國內90%的用戶，為多晶硅行業提供了幾十套還原爐清洗系統。