電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統

能源和環境問題日益成為各方關注的焦點，為了實現能源和環境的可持續發展，世界各國都將太陽能發電行業作為發展的重。多晶硅還是信息產業和新能源產業最基礎的原材料，還原工藝是多晶硅生產的關鍵工藝和成品工藝，其工藝條件和參數控制好壞直接影響產品質量和產量。電子級多晶硅生產工藝要求很高，要在“無油、無水、無塵”的環境下運行。



目前多晶硅生產多數采用改良西門子法，用來生產半導體行業電子級多晶硅；還原爐和氫化爐是改良西門子法生產多晶硅的核心設備，其運行好壞直接影響多晶硅質量及生產成本。鐘罩清洗不干凈、光潔度不夠，常常導致硅芯擊不穿或產品質量污染，所以鐘罩清洗設備對多晶硅生產非常重要。

經過多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外經驗，德高潔對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識，充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，研發電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統。

德高潔電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統包括低壓熱水清洗動力裝置、三維洗罐器、旋轉和升降執行機構、清洗工作臺、萬級凈化干燥系統、循環過濾系統、控制裝置、微負壓系統、清洗工作臺、電氣控制系統等，系統實現了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。



電子級多晶硅還原爐鐘罩自動清洗系統特點：

1、多晶硅還原爐鐘罩清洗系統以3D形式的網狀噴射來完成爐筒內部表面的水力掃射，加之萬級凈化干燥系統，完全滿足電子級多晶硅生產的需求。

2、自動化程度高，清洗時只需一鍵操作即可，操作簡單方便。自動控制系統能實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。

3、在整個還原爐的清洗過程中，清洗、干燥中筒內形成微負壓狀態，防止清洗外溢，同時將底座與筒體下法蘭處的污染物等一并吹掃，通過排污管排出，從而保證了整個過程不會對潔凈區造成污染。全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作人員的污染。

4、德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統的適應范圍廣，一套系統可以實現多種型號鐘罩的清洗烘干。

多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等，德高潔多晶硅鐘罩清洗系統覆蓋了國內90%的多晶硅企業，為多晶硅行業提供了幾十套還原爐清洗系統。這套電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統經過反復摸索求證，可根據不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶硅品質產生重要意義，取得了一定的經濟效益和社會效益。