新型電子級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統

多晶硅材料是以工業硅為原料經一系列物理化學反應提純后達到一定純度的電子材料，其具有高純度的特點，在整個生產過程中，對產品質量的控制要求很高。在競爭激烈市場價格越來越低的態勢下，更好的壓縮成本，也是多晶硅生產廠家關注的重點。

多晶硅生產多采用改良西門子法，也是用來生產半導體級多晶硅的主要工藝方法。還原爐是改良西門子法的核心設備，多晶硅的硅棒就是在其中“生長”出來的，因此還原爐的沉積環境的潔凈度特別關鍵。


在多晶硅的生產設備中，還原爐運行好壞直接影響多晶硅質量和生產成本，一般為降低耗電和成本，采取調整工藝參數、提供進料溫度、提高冷卻水溫度、清洗鐘罩等方法。一套好的鐘罩清洗裝置在多晶硅生產中是非常必要的，因為鐘罩清洗的光潔度和清潔度如果不夠，會導致硅芯擊不穿或產品質量污染。

目前多晶硅鐘罩的清洗方式多種多樣，有高壓清洗、化學溶劑低壓清洗、機械拋光等。多晶硅還原爐清洗系統始于2009年，德高潔清潔設備有限公司是國內第一家研發設計制造并獲得實用新型專利的。目前其設備應用也是覆蓋了國內90%的多晶硅企業，為多晶硅行業提供了幾十套還原爐清洗系統。

經過多年來客戶的實際應用和需求，通過總結借鑒國內外鐘罩及其它罐類清洗烘干經驗，對污染和潔凈的概念和控制有了更全面的認識。德高潔充分發揮高壓水清洗和吸除塵的技術優勢，研發半導體級多晶硅還原爐鐘罩清洗系統，實現了鐘罩的全自動清洗和烘干操作。

1、設備性能可靠

德高潔電子級多晶硅鐘罩清洗系統性能可靠，核心部件、元件和附件原裝進口。

2、自動化程度高

自動化程度高，用PLC+觸摸屏柔性自動控制系統，能實現對還原爐鐘罩的自動清洗和烘干，清洗烘干時間、溫度、清洗、漂洗等工藝參數可以根據需要自行調整設定，同時具有半自動或手動功能。

一次吊裝在一個工作臺上完成全部清洗、烘干過程，可實現遠程對樓下設備的控制和主要參數監控。

3、安全環保

全密閉式清洗烘干系統，使污染物(廢氣、廢水等)在受控的條件下，按設計出口排放，基本消除了對現場及操作人員的污染。

德高潔多晶硅鐘罩清洗系統按防爆要求設計，加多處安全互鎖功能(樓上、樓下操作，缺水保護，壓力水超壓保護、漏電保護，水風工作互鎖等)。

4、適應范圍廣

可以在一套系統實現多種型號鐘罩的清洗烘干，現在已經使用的有四種。

升級后的多晶硅還原爐鐘罩清洗系統可根據不同的鐘罩、不同車間廠房不同能源條件，提供個性化設計，節省了人力物力，大大降低勞動強度，這也對提高多晶硅品質產生重要意義。