高壓水射流玻璃基板清洗技術實際效果介紹

當今LCD顯示器的生產過程中清洗工藝的優劣是至關重要的，目前最流行的是將高壓水射流清洗技術應用到玻璃基板的清洗工藝中，可通過將清洗液加壓到上百bar的壓力，再通過孔徑為0.5～1.5mm的微孔噴出，形成高流速的微小液滴來清洗玻璃基板。這一技術提高了噴淋清洗的洗凈力，縮短了清洗線的長度，節省了凈化空間和DI水的使用量。之前我們介紹了《高壓清洗機在玻璃基板清洗中的應用》，以下主要介紹高壓水射流玻璃基板清洗技術的實際效果。
 
對噴射壓力為100 bar，噴射距離為100 mm的狀況進行試驗，結果表明，從微孔噴射嘴噴出的清洗液在空氣中運行時，與空氣發生碰撞后進一步微細化。對其粒徑的統計表明，其平均粒徑為0.034 μm，在到達距離噴嘴100 mm 的基板時，速度為40～50 m/s的微細水滴所占比例最大。只要通過壓力調節就可以得到所需要粒徑和速度的清洗液滴，以達到所需要的清洗效果。下圖為清洗時微細液滴微觀照片。
 
實際證明，高壓水射流玻璃基板清洗技術與以前的傳統的清洗方式相比較具有對清洗的物件損傷較小、不會對清洗物造成二次污染和DI水用量小等優點。其中省水的優點更是顯著，它的噴嘴每分鐘只有小于一升的用水量，這樣就能很大程度上降低清洗線的DI水用量，并由于它清洗的高效率也使得清洗線的長度很大程度節省了凈化空間。這些優點將使的超高壓清洗成為LCD清洗工藝中更先進更有效的清洗工藝，它將在很大程度上彌補傳統清洗工藝的不足。